1. Reproduire une image sur un substrat recouvert d'une couche de matériau (résine photosensible)
2. La zone irradiée va voir sa solubilité augmenter ou diminuer suivant le type de résine (+ ou -)
3. La partie du substrat mise à nu pourra subir des traitements divers: gravure, dépôt, implantations d'ions